“반도체 오염물질 1조분의 1까지 잡아냅니다”

오염모니터링 기술 국내유일 보유 바이오ㆍ환경측정부문 사업 추진 Navi-WF301 등 주요제품 대기업 공정환경관리 표준으로

[지역 선도기업을 찾아서](주)위드텍

▲ 대덕밸리 내에 있는 (주)위드텍은 초정밀 공정 오염 모니터링 선두 기업으로, 국내에서 유일하게 반도체와 LCD 등 첨단기술산업 분야 제품의 오염 모니터링 기술을 보유하고 있다. 손인중 기자

대전 유성구 탑립동 대덕밸리 내에 있는 (주)위드텍(대표 유승교, www.withtech.co.kr)은 초정밀 공정 오염 모니터링 제품을 개발하는 기업이다. 위드텍은 국내에서 유일하게 반도체와 LCD 등 첨단기술산업 분야 제품의 오염 모니터링 기술을 보유한 벤처기업으로 고정밀 분석 진단 기술을 이용한 바이오ㆍ환경 측정부문 등의 사업을 추진하고 있다. 정밀 분석 기술을 요구하는 반도체와 디스플레이의 공정 모니터링 분야에서 기술을 선도해 가고 있는 위드텍은 국내 시장뿐만 아니라 세계시장에도 진출하며 글로벌 기업으로 거듭나고 있다. 2003년 설립된 위드텍은 올해 매출 목표를 150억원으로 설정했다.

▲국내 유일의 제품=시간이 갈수록 미세해지는 나노 크기의 패턴화와 대량생산을 추구하는 반도체 및 디스플레이 제품의 품질향상을 위해서는 제조공정상 발생하는 유해가스의 총량을 ppb(parts per billion) 이하의 수준으로 관리해야 한다. 위드텍의 고감도 산성가스 모니터링 장치는 이러한 반도체나 디스플레이의 제조공정 환경에서 발생하는 다양한 산성가스(7종류)를 동시에 0.1ppbv 수준의 농도로 모니터링 할 수 있다.

반도체 포토리소그라피 공정에서 대기 중의 미세 암모니아 분자의 존재는 패턴의 불량(T-topping)현상을 만들게 되며, 이는 누설 전류를 흐르게 해 제품의 불량을 만들게 한다. 이러한 반도체 미세 가공공정에서는 클린룸 및 공정장비 내 공기 중 암모니아의 농도를 ppbv 이하 수준으로 모니터링해 관리해야 한다. 고성능 염기성 가스 모니터링 장치는 암모니아 가스 농도를 0.1ppbv 이하로 모니터링이 가능한 국내 유일의 제품이다.

위드텍은 고감도 산성가스와 암모니아 가스 측정장비 이외에 대기 중에 존재하는 유기성 오염물질, 오존 등을 고감도 실시간으로 측정할 수 있는 장비들을 개발(OMS-series)함으로써 분자성 오염물질에 대한 토털솔루션을 제공하고 있다.

▲제품의 기술력=기존에 사용되고 있던 알루미늄 배선을 이용한 반도체 제조는 회로의 미세화로 인해 발생하는 발열 등의 문제 때문에 배선을 이용한 공정으로 대체되고 있다. 구리 배선을 사용하는 웨이퍼를 세정하는 공정에서의 불량으로 인한 심각한 손실을 방지하기 위해 세정액 내 금속오염 상태를 실시간으로 모니터링할 필요가 있다. 위드텍의 반도체 세정액 오염 모니터링 장치인 SOLA-M100은 이러한 세정액 내 ppb 수준의 구리농도를 온라인으로 모니터링해 설정한 구리 농도에 이상이 발생하면 자동으로 경보를 울려 웨이퍼 세정의 이상 유무를 알려준다. 이를 통해 불량품의 발생을 최소화할 수 있다.

또 위드텍은 SOLA-E100, SOLA-E200 제품을 개발하고 수요자들로부터 성능을 입증받아 반도체 제조산업의 공정 폐수에 적용됐다. 이 제품은 방류수에서 구리농도를 상시 감시할 뿐만 아니라 폐수 처리 공정에서의 구리 제거 효율, 약품 투여량 등에 연계시킴으로써 폐수 처리 공정운영에 신속성과 효율성을 향상시키고 있다.

더불어 국내 신기술인증(NET)과 '세정액에 포함된 플루오린화 수소산의 농도를 측정하는 장치 및 방법'을 비롯한 다양한 기술특허를 통해 기술력 인증뿐만 아니라 기술력 보호에도 신경을 쓰고 있다. Navi-WF301을 비롯한 주요 제품들은 삼성과 하이닉스, LG 디스플레이 등 대기업의 공정환경 관리를 위한 표준제품으로 그 입지를 확고히 하고 있으며, 미국과 중국 등으로 수출을 통해 해외시장 확보에도 기반을 마련하고 있다.

▲고감도 측정기술=위드텍은 1조분의 1수준인 ppt(parts per trillion) 수준의 눈에 보이지 않는 물질까지 감지할 수 있는 고감도 측정기술을 통해 개발한 포토리소그라피 공정의 고감도 측정기로 반도체와 LCD, LED 등의 제작환경에 존재하는 분자(가스) 오염원의 수준을 측정 관리한다. 분자성오염원이 미세패턴으로 제조되는 웨이퍼에 접하게 되면, 화학적ㆍ물리적 반응을 통해 제품의 특성변형과 불량을 야기시킨다. 또한 반도체 세정공정에 쓰이는 '세정액 순도(purity) 측정기기'의 개발로, 웨이퍼를 닦을 때 쓰이는 세정액을 완벽하게 정제된 고순도 화학용액을 만드는데 사용하고 있다.

이밖에도 위드텍은 초순수나 프로세스 공정 약액 내의 극미량 오염물질을 효과적으로 모니터링 할 수 있는 기술을 개발하고 있다. 기술 실용화가 이뤄지면 반도체 산업에서의 모든 솔루션에 대한 오염도 관리가 실현됨으로써 반도체 산업에서의 생산 수율에 매우 큰 공헌이 기대되고 있다. 아울러 바이오와 환경 연구 분야 등의 다양한 사업 분야로의 활용이 예상된다.

박전규 기자