<왼쪽부터>국립한밭대 신소재공학과 황해인 석사연구원, 조인호 박사연구원, 박아현 학부연구원, 김정환 교수 |
먼저 포스터 발표 부문 '최우수논문상'을 수상한 황해인 대학원생은 이번 대회에서 '저온 원자층 증착(ALD) 공정의 산화제 종류에 따른 박막 특성 및 봉지막 적용에 관한 연구'를 발표했다.
이는 투명 디스플레이 연구의 확산과 고집적화로 복잡해진 구조물의 균일한 봉지막 형성을 위한 연구로 단차피복성이 우수한 ALD를 저온에서 최적 조건을 제시하고 다양한 분석을 통해 기존 저온 박막 증착 때 발생하는 고온 공정 대비 물성 저하 문제를 개선했다.
일반구두 발표 부문 '우수논문상'을 수상한 조인호 대학원생은 나노 단위에서 급증하는 비저항 크기 효과를 개선하는 'ALD 기반 저저항 Ru 금속 박막의 열처리 조건에 따른 비저항 변화 연구'를 진행했다. Ru 금속 박막을 원자층 증착(ALD) 방식으로 제작하고 급속 열처리를 통해 비저항을 효과적으로 감소시키는 공정을 최적화했다.
포스터 발표 부문 '우수논문상'을 수상한 박아현 학생은 '스퍼터링법으로 증착된 Cu 박막의 기판 변화에 따른 나노 스케일 정밀 가공을 위한 기계적 특성' 연구로 DC 스퍼터링 기술을 활용해 저온에서 우수한 전기적 특성과 균일도를 가진 구리 박막을 형성하고 나노스케일 기계가공을 통해 기판의 경도에 따른 절삭성의 변화를 평가했다.
이번 학술대회와 함께 열린 캡스톤디자인, 창의아이디어 경진대회에서도 수상을 기록했다. LINC 3.0 사업단의 지원으로 연구를 수행한 'LIP'팀(김준호·박아현·배웅열·김도현·김수민·노진수)이 '화재 대피용 안전 유도 라이프 지팡이'로 혁신상을 수상했다.
학생들을 지도한 신소재공학과 김정환 교수는 "한 학술대회에서 최우수상 등 무려 4개의 상을 수상한 성과는 처음"이라며 "대학원생과 학부생들이 지도에 따라 열심히 연구한 결과가 이렇게 수상까지 이어지게 돼 기쁘고 좋은 연구 환경을 지원해 준 대학본부와 산학협력단, LINC 3.0 사업단에 감사하다"고 말했다.
오현민 기자 dhgusals23@
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