하재원 기자
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| 안순철 총장이 클린룸 센터를 둘러보고 있다. |
DKU 클린룸 센터는 죽전캠퍼스 대학원동 6층에 연면적 926㎡로 조성됐으며, 센터는 클린룸, 분석계측실, 공정실습실1·2, 가스저장실, 장비분석실, 강의실 등을 구축해 설계부터 소자·공정, 테스트·후공정까지 원스톱으로 반도체 이론·실습 교육이 모두 가능해졌다.
센터에는 반도체 소자의 전기적 특성 평가 및 분석 장비인 '프로브스테이션 및 반도체칩 특성 평가 장비', 시료의 표면 특성을 나노 단위로 분석하는 '고해상도 주사형 원자력 현미경', 고에너지 자외선인 I-line을 사용해 Mask에 새겨진 회로 패턴을 웨이퍼 표면에 형성하는 '6인치 웨이퍼 UV노광장비', 전자 빔으로 재료를 증발시켜 웨이퍼 박막을 증착하는 '고에너지 전자빔 박막 증착기'를 도입했다.
아울러 고온으로 재료를 증발시켜 기판에 박막을 증착하는 '진공열 증착기', 웨이퍼를 짧은 시간 고온에 노출해 물리적, 화학적 변화를 유도하는 '급속 열처리 시스템', 플라즈마를 이용해 이온화된 가스를 타겟에 충돌시켜 박말을 증착하는 '스퍼터 시스템', 플라즈마를 이용해 화학반응 및 물리적 충돌로 박말을 식각하는 '반응성 이온 식각 시스템' 등을 구축했다.
안순철 총장은 "국내 대학 최고 수준의 반도체 클린룸을 통해 단국대는 현장 맞춤형 반도체 인재 양성에 박차를 가할 계획"이라며 "반도체 메가 클러스터가 조성되는 경기 남부권에 지·산·학·연을 잇는 차세대 반도체 R&D 허브로 발전시킬 것"이라고 밝혔다.
천안=하재원 기자
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