일본 보이콧 물결 속, 日 의존해온 반도체 제조용 고속히터 국내 기업 개발

㈜에이치앤세온의 펄스 히터(PULSE HEATER), 日 대체 반도체 히터 제품으로 주목

한일 갈등의 심화로 일본 제품 불매운동이 이어지는 가운데 국내 소비자들 내 국산 제품에 대한 요구가 뜨겁다. 이들은 일본 제품 사용을 반대하며 이를 대체하는 국산제품을 찾아 사용한다. 일본 불매 제품 품목 또한 주류를 비롯해 문구류, 차량, 여행 등 점차 다양한 분야로 확산되고 있다. 

이러한 움직임은 국내 제조업체들에게도 영향을 미치며 제조업에 필요한 핵심 부품 또한 국산 제품을 사용하자는 움직임이 높다. 이에 국내 반도체 제조 업체 및 반도체 장비 업체들 또한 무역마찰로 인한 어려움 속에서 국산제품 사용을 위해 노력 중이다.

(주)에이치앤세온의 펄스 히터

이 가운데 국내 중소기업 ㈜에이치앤세온(대표 김관형)이 그간 일본에 의존해 온 반도체 제조용 고속히터를 개발하며 주목받고 있다. 

에이치앤세온이 새롭게 개발한 반도체 제조용 고속 히터는 사람의 심장 박동처럼 빠르게 요동친다고 하여 '펄스 히터(PULSE HEATER)'라 불린다. 해당 제품은 초당 200℃이상의 빠른 승온 속도로 반도체 칩을 열압착 본딩(Thermo-Compression Bonding) 하는 공정에 사용된다. 

에이치앤세온의 펄스 히터는 발열 특성을 갖는 기능성 세라믹으로 개발되어, 국내 반도체 제조 업체 및 해외 반도체 제조 업체에서 필드 테스트를 진행했다.

에이치앤세온의 김학범 연구소장은 "펄스 히터의 핵심 기술은 대형화에 따른 승온 속도 및 냉각 속도 단축에 있다. 이를 위해 고기능성 세라믹 소재 개발과 모듈화 기술이 필요하다"고 말했다.

이어 "반도체 제조 공정에 사용되는 부품은 특성상 높은 신뢰성을 가져야 하기에 기존 부품을 대체하여 진입하는 것이 쉽지 않다. 때문에 해당 부품처럼 일본에서 전량 수입해 오는 핵심 부품은 국가에서 이를 전문적으로 테스트하여 평가할 수 있는 기관이 필요하며 해당 제품을 홍보할 수 있는 시스템도 뒷받침돼야 한다"고 전했다. 

업계 관계자는 "일본서 전량 수입해 오던 반도체 고속히터를 국내 중소 기업에서 개발하였다는 것은 매우 큰 의의를 가진다. 펄스 히터는 일본 히터를 대체할 수 있는 수준으로 높은 평가를 받고 있다"고 기대감을 밝혔다. /봉원종 기자