KBSI 장기수 광분석장비개발연구부장. |
장기수 부장은 '공초점 열반사 현미경 개발 및 상용화' 기술로 반도체와 디스플레이 소자의 발열 특성을 측정, 분석하는 장비 국산화에 기여한 공로를 인정받았다.
KBSI 연구장비개발본부 광분석장비개발연구부 장기수·김동욱 박사팀이 개발한 공초점 열반사 현미경은 레이저 빛을 이용해 마이크로 크기 전자소자의 내외부 발열을 입체적으로 측정할 수 있는 연구장비다. 기존의 적외선 방식 열영상 현미경에 비해 분해능(해상도)이 10배가량 뛰어나다.
장기수 부장은 "공초점 열반사 현미경은 세상에 없던 신개념 연구장비"라며 "기술이전 이후에도 사업자·이용자와 지속적으로 협력하며 상품성 향상을 위해 노력한 점을 인정받은 것 같다"고 밝혔다.
김성현 기자 larczard@
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