반도체와 디스플레이 초정밀 자기부상 시스템으로 옮긴다

기계연 박도영 박사팀 전자석 이용한 이동 기술 개발
분진없고, 정밀제어로 균일한 속도로 안정 증착 가능

초정밀 자기부상 물류이송장치의 구조. n형 모양의 프레임에 둘러 싸여 캐리어가 위치해있다. 부상 전자석은 캐리어를 부상시키고, 부상 갭센서가 부상 정도를 측정하면 제어기의 제어에 따라 전자석이 작동해 부상 정도를 조절한다. 안내 전자석은 캐리어가 양옆으로 움직이는 간격을 제어해준다.

반도체나 디스플레이 제조환경에서 대형 물품을 분진발생 없이 정밀하게 이송할 수 있는 초정밀 자기부상 시스템 기술이 개발됐다.

한국기계연구원(원장 박천홍) 기계시스템안전연구본부 자기부상연구실 박도영 박사팀은 진공 챔버 안에서 800㎏급 캐리어를 전자석을 이용해 1㎜ 부상시킨 후, 선형 전동기를 이용해 왕복으로 이동시키는 기술을 개발했다.

이 기술은 지난 1989년부터 연구에 착수해 2016년 인천국제공항에 도시형 자기부창열차를 상용화하는 과정에서 기계연이 확보한 자기부상 원천기술을 첨단산업 공정에 적용했다.

n형 구조로 된 프레임에 부착된 전자석을 이용해 동력원이 없는 금속성 캐리어를 부상시키고 직선 방향으로 이동시키는 기술이다. 캐리어에 부착된 영구자석과 프레임에 부착된 선형 전동기, 부상을 제어하는 부상 전자석, 측면 움직임을 제어하는 안내 전자석이 반응하며 마찰없이 정밀한 간격을 유지한 채 이동한다.

OLED 디스플레이나 반도체의 제조공정에는 증착공정이 반드시 필요하다. 증착공정은 원하는 물질을 위로 도포해 디스플레이나 반도체 기판 등 필요한 곳에 붙이는 공정이다. 기판에 수분이나 먼지가 닿으면 불량이 발생하고 생산율이 떨어지기 때문에 청정하고 정밀한 제조환경이 필요하다.

연구팀이 개발한 자기부상 이송기술로 물체를 이송시키면 바퀴 및 베어링 등에서 발생하는 분진이 없을 뿐 아니라 정밀제어로 균일한 속도로 이동해 안정적인 증착이 가능하다. 또 부상 간격을 실시간으로 측정하는 전용 센서도 제작했다. 시중제품의 5분의1 가격이다. 동시에 시스템에 모듈화하고 여러개의 캐리어를 동시에 이동 및 제어할 수 있어 대량생산 시스템에도 적용할 수 있다.

한국기계연구원 박도영 책임연구원은 “고청정 환경에서 정밀한 이송과 부상이 가능한 기술로 시장 확대가 예측되는 반도체 및 디스플레이산업의 생산성을 향상시키는 데 기여할 것”이라며 “높은 신뢰도의 자기부상 원천기술 뿐 아니라 응용기술까지 개발한 만큼 생산현장 적용도 멀지 않을 것으로 기대한다”고 말했다.
이해미 기자