기계연 최대근 박사팀, 나노구조물 자유지지 형태 구현

전사공정 이용 기술개발

▲ 최대근 박사

전사 방식을 통해 나노구조물을 자유지지 형태로 제작하는 기술이 국내 최초로 개발됐다.

자유지지형태는 구조물이 바닥에서 떨어져 공중에 떠 있는 형태로 나노 박막 신소재의 전기적·기계적 물성을 정확하게 측정, 물성측정과 관련된 기초 학문 분야에 기여할 할 것으로 기대된다.

한국기계연구원(원장 최태인) 나노공정연구실 최대근<사진> 박사팀은 연구원 주요사업인 전사공정을 이용해 나노선 및 나노다공성막을 자유지지 형태로 제작하는 데 성공했다고 26일 밝혔다.

연구팀은 먼저 지지대 역할의 기둥을 제작 한 뒤, 유연한 기판 위에 나노구조물을 코팅하고 적정한 온도 및 가압 조건에서 지지대 기둥에 나노구조물을 위에서 붙이는 방식의 전사공정으로 100 이하의 박막 구조물을 자유지지 형태로 구현하는 데 성공했다.

나노구조물을 자유지지 형태로 제작하면 기존 기술의 장점뿐만 아니라, 바닥에 붙지 않아 기판과의 교란 없이 나노 박막 신소재의 전기적·기계적 물성을 정확하게 측정하게 돼, 물성측정과 관련된 기초 학문 분야에 기여할 것으로 기대된다.

또 표면적이 증가돼 바이오 및 가스 센서 등의 민감도를 높일 수 있는 장점뿐 아니라, 자유지지 형태의 구조적 특징 때문에 미세 진동(떨림)이 가능해 나노크기의 공진기(resonator)및 응력·변형 센서 등에 활용 가능하다.

권은남 기자 silver@