▲ 성인하 교수 |
성 교수의 논문은 '입자연마가공에서의 압력 속도 및 유체점도의 영향에 대한 고찰'(양우열 대학원생, 양지철 삼성전자 반도체사업부 책임연구원 공동저술)이다.
이 논문은 입자연마가공의 공정조건에 관한 시뮬레이션 및 실험에 관한 연구결과로, 기존 연구에서 밝히지 못하거나 실험적 현상만을 보여준 것에 반해 슬러리 유동을 고려한 시뮬레이션 결과와 실험데이터와의 비교를 통해 메커니즘을 규명했다는 점에서 높은 평가받았다.
성 교수는 반도체 CMP공정 등 마이크로/나노스케일 제조 및 가공, 트리볼로지 및 표면공학, 나노역학 등의 분야에서 활발한 연구를 수행해 오고 있다. 한편, 시상식은 다음달 5일 '대한민국과학기술연차대회'에서 열린다.
윤희진 기자
중도일보(www.joongdo.co.kr), 무단전재 및 수집, 재배포 금지