3차원 나노 금형 대량생산시대 활짝

기계연 제작원천기술 개발

3차원 나노 금형을 고가의 노광장비를 사용하지 않고 값싸게 대량 생산할 수 있는 원천기술이 개발됐다.

한국기계연구원(원장 최태인) 정준호 박사팀은 KAIST 김상욱 교수팀과 공동으로 3차원 나노 금형 제작기술을 세계 최초로 개발에 성공했다고 밝혔다.

나노 금형을 사용, 도장을 찍듯 기판상에 나노패턴을 전사하는 3차원 나노 금형 제작기술은 차세대 메모리, 나노센서 등을 값싸게 제작할 수 있는 나노임프린트 공정의 핵심기술이다.

연구진은 금속 산화물 소재의 3차원 직접 나노임프린트 공정과 블록 공중합체 자기 조립공정을 융합해 30㎚급 3차원의 나노 금형을 제작하는 데 성공했다.

개발된 기술은 공정이 단순할 뿐만 아니라 대면적 3차원 곡면상에 수십 나노미터 크기의 구조물을 제작할 수 있다는 특징을 가지고 있다.

한국기계연구원 김사라 박사는 “개발된 나노금형 제작 기술을 바탕으로 금속 나노와이어 기반의 투명전극 개발에 활용할 계획”이라고 밝혔다. 21일자 나노분야의 저명한 국제 학술지인 'small'(IF: 7.33)에 내부 표지논문으로 선정됐다.

권은남 기자 silver@