나노측정 '띠굽힘시험법' IEC 국제표준 기술 채택

[제45회 과학의 날 특집]대덕의 열정, 국부창출 엔진- 한국기계연구원 세계 나노기술 견인

▲ 이학주 박사

기계연이 개발한 나노측정 기술이 세계 3대 국제표준기구 중 하나인 국제전기기술위원회(IEC)의 국제표준 기술로 채택돼 세계 나노기술을 선도하고 있다. 한국기계연구원 이학주 박사팀이 개발한 나노측정 기술 '띠굽힘시험법'이 미세전자기계시스템 (MEMS) 분야 국제표준이 된 것.

나노측정 기술은 나노 크기 소재의 기계적, 전자기적, 광학 물성 등을 측정하고 평가하는 기술로, 나노공정 기술을 실제 제품 생산에 적용할 때 필수적이다.

이 박사팀의 '띠굽힘시험법'은 길이가 길고 두께가 얇은 마이크로ㆍ나노 구조물을 변형시키며 하중 등을 간편하고 정확하게 측정하는 방법으로, 측정의 자동화는 물론 관련 제품들의 신뢰성 향상에 크게 기여할 수 있다.

우리나라에서 개발된 나노측정 기술이 국제표준으로 공인된 것은 처음으로, 나노측정 원천기술의 국제표준 선취권을 확보함에 따라 우리나라가 세계 나노기술 기반 확립을 주도하는 계기를 마련하게 되었다.

기계연은 이외에도 미소 기둥 압축시험법, 박막의 열팽창계수 측정법을 개발하는 등 박막의 기계적 물성 측정법 분야에서 국제표준을 주도하고 있다. 이 박사팀의 연구성과는 교육과학기술부의 '국가연구개발 우수성과 100선'에도 선정된 바 있다.

이학주 박사는 “지금까지는 나노 구조물의 측정이 어려워 마이크로ㆍ나노 구조물 상용화에 걸림돌이 돼왔으나, 국제표준 채택 이후 신뢰성 문제 해결은 물론 우리나라가 13조 5000억원 규모의 세계 나노측정기술 산업을 주도하는 계기가 됐다”고 밝혔다.

권은남 기자