케이맥(주), 반도체 시장 접수나서

박막두께측정기 등 검사장비 개발 사업 다각화

대덕밸리내 분석기기 전문기업 케이맥(주)(대표 이중환)이 반도체 시장으로 사업을 확대한다.

물성분석 노하우로 FPD(평판 디스플레이) 시장에서 높은 점유율을 확보하고 있는 케이맥은 최근 바이오ㆍ의료진단기기 시장으로의 성공적 진입으로 검증된 기술력을 바탕으로 박막두께측정기, 3D Vision장비 등의 검사장비를 개발하며 반도체시장에 진출하기 위한 준비를 해 왔다.

반도체 검사장비 MEIS(물질의 표면, 정성, 정량 분석 장비).

이번에 개발된 반도체용 검사장비는 반도체 웨이퍼 상에 도포되는 물질의 초박막 두께를 측정하는 'Spectral Ellipsometer(SE), Nano-MEIS'를 포함해 모두 10여 종이다.

이 제품들은 단순히 검사장비의 성능에만 초점을 둔 것이 아니라, 반도체 공정상에서 야기되는 각종 문제점을 직접 조사ㆍ개발해 출시 이후 반도체 공정 및 OLED공정 개선에 큰 기여를 할 것으로 기대되고 있다.

더불어 지난달 열린 국내 최대의 반도체 산업 전시회인 '세미콘 코리아'에서 참여 기업들의 높은 관심과 호응을 받으며, 250여건의 제품 상담과 100여건에 달하는 구매상담이 이뤄졌다.

전시회의 제품 및 구매 상담에는 세계적인 반도체 기업인 삼성전자와 하이닉스를 포함한 관련 기업과 전공 교수들이 참여했다. 이번 상담에 참여한 충남대 고윤호(메카트로닉스공학과) 교수는 “케이맥은 반도체 검사장비 분야에서도 보다 완성된 기술 구현으로 기존 공정상의 문제점을 해결할 솔루션 제공이 가능할 것으로 보인다”고 평했다.

케이맥 관계자는 “오랜 기간 축적해온 분석기술을 바탕으로 고객의 다양한 욕구를 충족시켜줄 수 있는 기술력을 보유하고 있다. 향후 고객과의 직접적인 교류를 통해 현업에서 필요한 다양한 반도체 검사장비를 출시할 예정”이라며 “반도체 검사장비 사업은 FPD, 바이오ㆍ의료진단 사업과 함께 케이맥의 주력사업으로 성장할 것”이라고 말했다. /박전규 기자