나노와이어 이용한 반도체 검사 개발

머리카락 보다 최대 1만분의 1 크기로 얇은 와이어를 이용해 미세 반도체를 검사할 수 있는 기술이 개발됐다.

한국기계연구원은 나노융합기계연구본부 한창수 박사와 김준동 박사가 전도성 나오와이어를 이용해 나노 구조물에 대한 표면 및 전자기 정보를 동시에 얻을 수 있는 기술을 개발했다고 밝혔다.

이 기술은 머리카락의 1/1000~1/1만 크기의 나노와이어를 현미경 탐침(Microscopy tip)으로 이용한 것으로, 고비용의 진공조건과 여러 단계의 미세 가공 및 공정을 생략할 수 있어 제작비용을 10% 정도 절감할 수 있을 것으로 기대되고 있다.

또한 나노와이어 배선 특성에 대한 평가가 가능하며, 나노 구조물의 표면정보 뿐만 아니라 전기정보도 얻을 수 있다. 이번 연구결과는 영국의 나노 분야 유명 저널인 나노테크놀로지(Nanotechnology)에 발표됐다.

김준동 박사는 “나노와이어를 이용해 나노와이어 구조체에 대한 표면 및 전기정보를 얻은 것은 세계에서 처음”이라며 “학문적으로 기능성 나노 소재를 이용한 나노 구조체를 실현했다는 점 외에도 나노 소재를 이용해 기능성 구조체의 제작과 적용을 확인했다는 점에서 의의가 크다”고 말했다. /박종명 기자 parkbell@