[IT]나노기술 핵심기지 ‘발돋움’

나노종합팹센터 1주년 성과와 전망

▲ 국내 나노기술의 거점으로서, 산·학·연 연구주체에 나노기술의 종합적인 연구개발 지원을 도맡아 하고 있는 대덕특구 내 ‘나노종합팹센터’가 오는 3월이면 설립 1주년을 맞는다. 사진은 지난해 3월 16일 나노종합팹센터 준공식.

나노미터(10억분의 1m로 머리카락의 1000분의 1 크기) 수준에서 물체들을 만들고 조작하는 기술을 나노기술이라 통칭한다. 이 나노기술은 결국 원자나 분자 단위의 극미세 물질을 인위적으로 조합함으로써 새로운 성질과 기능을 가진 물질이나 장치를 만드는데 사용된다. 국내 나노기술의 거점으로서, 산·학·연 연구주체에 나노기술의 종합적인 연구개발 지원을 도맡아 하고 있는 대덕특구 내 ‘나노종합팹센터’가 오는 3월이면 설립 1주년을 맞는다. 그동안 국내외 나노기술 관련 산·학·연 협력기반 구축과 신 나노소자, 소재 연구를 위한 신규 장비 개발 등을 위해 노력해 온 나노종합팹센터의 성과와 올해 비전을 알아본다. <편집자 주>



장비이용률 급증. 韓中 연구센터 개소 등 결실
연구동 2개층 증축… 전문 창업보육사업 추진
신규장비개발 등 내달 16일 성과발표회 개최


“나노종합팹센터가 국가 나노기술의 핵심거점 기지가 되도록 하겠습니다.”
대덕연구개발특구 한국과학기술원(KAIST) 내 나노기술의 메카인 나노종합팹센터(NNFC) 이희철 소장의 야심찬 올해 계획이다.

나노종합팹센터는 수요자에 맞는 공정기술 개발을 통해 벨기에 IMEC과 미국의 Sematech와 같은 세계적인 나노종합팹센터로 발돋움하는 것을 목표로 하고 있다.

지난해 센터는 이용자협의회 창립총회 개최(6월 29일)를 비롯해 한·중 나노기술연구센터 개소(7월 26일), 한·미 나노기술 지원인프라 국제 워크숍 공동 개최(10월 11일), LG-NNFC 나노기술 연구센터 개소(10월 21일) 등 적지 않은 표면적 성과를 이뤄냈다.

지난해 3월부터 장비 이용 서비스를 실시한 센터는 같은 해 12월말까지 모두 1737건의 서비스를 수행해 왔으며, 지금도 이용문의가 계속되고 있다.

5일 나노종합팹센터에 따르면 첫 서비스를 시작한 지난해 3월 26건에 불과하던 이용건수가 6월 137건으로 급증했고, 11월에는 257건을 기록하는 등 월 평균 33% 이상 증가하며 산·학·연 이용자들의 큰 관심을 불러 일으켰다.
이곳을 이용하는 이용자들도 다양하다.

대학 등 학계의 이용률이 절반 이상을 차지하고 있으며, 정부출연연기관 및 정부기관 19%, 중소벤처기업 17%, 대기업 14% 등이 꾸준하게 이용하고 있다.


특히 삼성종기원과 하이닉스 반도체, LG 등 대기업의 장비 이용률이 꾸준히 늘고 있어 이들과의 상호협력을 통해 협력모델을 발굴하는 등 자체 수익모델 개선에 큰 기여를 할 것으로 센터는 기대되고 있다.

나노종합팹센터는 고가의 장비 서비스 뿐만 아니라 전자빔 사진공정기술 구현을 비롯 ‘딥 실리콘(Deep silicon)’ 식각 기술개발 등 나노소자와 바이오 멤스, 신소재, 특성평가기술 분야에서 기술개발에 성공한 장본인이기도 하다.

앞으로 나노종합팹센터는 단위공정에 관한 기술 지원에서 벗어나 장비이용의 활성화 및 융합기술의 지원체제 구축을 위해 250~180nm급 일괄공정을 구축해 올 하반기부터 서비스에 나설 예정이다.

또한 연구동 건물 2개 층을 증축해 나노기술 산업화를 위한 공간으로 활용하는 나노기술 전문 창업보육사업을 추진해 나노기술의 핵심기지로 이끌어 낼 계획이다.

이 소장은 “앞으로 정부의 재정적 지원이 더욱 뒷받침돼야 한다”며 “과기부 등 관련 부처에서 공감하고 있는 만큼 안정적으로 센터를 운영할 수 있도록 더욱 최선을 다해 나갈 것”이라고 말했다.

한편, 나노종합팹센터는 내달 16일 KAIST 대강당에서 ‘나노종합팹센터 1주년 기념 성과발표회’를 개최한다. /