▲ 최병일 박사 |
최병일 박사는 반도체 수율 향상에 핵심 요소인 ppb(1 ppb는 10억분의 1) 수준의 극미량 수분표준을 국내 최초로 확립했다.
확립한 수분표준 영역은 이슬점으로 -105℃, 5 ppb(10억 분의 5) 수준으로 이는 일반 가정에서 사용하는 가습기 습도의 100만 분의 1에 해당하는 극미량의 수분량이다. 현재 5 ppb 수준까지 수분을 정확히 측정하고 제어할 수 있는 기술을 보유한 나라는 미국, 영국, 독일, 일본 등에 불과하며, 확립한 습도표준 영역은 세계 최고 수준이다. 앞으로 연구팀은 산업체가 요구하는 수분 영역까지 극미량 수분표준을 확립하기 위해 노력한다는 계획이다.
권은남 기자
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