▲ 김재완 기반표준본부 박사 |
김 박사는 최근 다채널 주파수 스캐닝 레이저를 이용한 광간섭식 고속 나노 형상 측정기술을 개발, 기술이전에 성공한 점을 높이 평가받았다.
이번 기술은 기계적인 이송을 없애고 레이저 주파수를 변조하는 방식을 활용함으로써, 기존의 광간섭기술에서 문제시됐던 측정속도의 한계를 극복했다.
10배 이상 빠르고 정확한 측정이 가능하고, 측정센터가 움직이지 않은 채로 주파수를 변조시켜 전기적인 구동이 가능한 점을 특징으로 하고 있다.
김 박사팀은 향후 반도체 패키징 검사 기술 및 높이 인증표준물질(CRM) 개발에 연구역량을 집중할 계획이다. /이희택 기자 nature28@joongdoilbo.co.kr
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