▲특징=펄스 레이저빔에 의한 어블레이션(ablation) 가공에 의해 마스크 없이 이뤄진다. 가공부의 열영향부가 압도적으로 작기 때문에 정밀도가 매우 높은 미세가공이 가능하게 된다. 또 마스크를 사용하지 않고 레이저로 직접 가공하므로 비용이 절감되며, 평면가공용 고정장치와 함께 양면 가공용 고정장치가 함께 구비돼 평면과 입체가공이 동시에 가능하다. 가공물에 레이저빔을 감싸는 보호액체도 레이저빔과 함께 분사되므로 가공시 발생하는 작은 입자들이 재증착하는 것을 막을 수 있으며, 열에 의한 변형을 최소화할 수 있다.
▲기술적용시 변화=레이저빔은 렌즈로 미소한 점에 집광할 수 있기 때문에 여러 가지 미세 정밀가공에 사용되고 있다. 기존에는 마스크를 이용한 레이저 가공방법이 많이 사용됐으나 고가의 마스크를 제작해야 하고 레이저가공의 특성상 레이저빔이 닿는 쪽 면만 가공되는 단점이 있었다. 이 기술은 이러한 점을 보완해 완전한 3차원 형상을 가공하기 위한 방법과 장치를 제공한다.
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