표준연-日히타치, 차세대 전자현미경 국제 공동연구 시작

▲ KRISS 첨단측정장비센터 연구팀이 전자빔 모노크로미터에 대한 연구를 하고 있다.

표준연, 세계 최고 주사전자현미경 기업과 연구 MOU


한국표준과학연구원(KRISS)은 일본 히타치하이테크놀로지즈(HHT)와 21일 본원 행정동에서 ‘차세대 전자현미경’ 국제 공동연구를 위한 업무협약을 맺었다.

HHT는 주사전자현미경 세계 매출 1위 기업으로, ‘전계방출현미경의 실용화’기술이 1972년 미국전기전자학회(IEEE)의 이정표로 인정받는 등 뛰어난 기술력을 보유 중이다.

주사전자현미경은 전자현미경 안에서 전자빔을 관찰 대상에 쏘아 확대된 영상을 표시와 기록을 해 물질 형태나 구성 원소ㆍ정량 등을 분석하는 장비다. 주로 생물학, 반도체, 재료과학 분야에서 물체의 미세구조를 관찰하거나 정밀 측정할 때 사용된다.

조복래 표준연 첨단측정장비센터장은 “표준연과 HHT의 공동연구를 통해 낮은 에너지 영역에서의 주사전자현미경 공간 분해능 향상이 기대된다”며 “이로써 신재료 및 반도체 장치의 연구개발, 새로운 생명 현상의 해명 등 다양한 분야에서의 ‘정확한 눈’의 역할을 할 수 있을 것”이라고 말했다.

이토 스케히로 HHT 본부장은 “표준연이 가진 모노크로미터 기술을 HHT의 주사전자현미경과 결합하면 전자현미경의 기본 성능이 더욱 향상할 것”이라고 밝혔다. 최소망 기자 somangchoi@