표준과학연구원 반도체 공정진단 워크숍

장비기술 정보 공유

승인 2015-12-09 18:04
신문게재 2015-12-10 6면

최소망 기자

한국표준과학연구원(원장 신용현)은 10일 표준연 기술지원동 세미나실에서 제9회 반도체 공정진단 워크숍을 개최한다.

이번 워크숍에는 전문가 100여 명이 참석해 반도체 기술의 핵심인 실시간 공정 모니터링 및 분석 기술 개발을 주제로 반도체 공정과 장비 기술 자립화를 위한 정보를 공유한다.

논의되는 세부 분야는 초박막 공정을 위한 플라즈마 진단 표준화, 플라즈마 모니터링 시스템, 실시간 공정입자 복합특성 측정 장치, 레이저홀로그램과 신경망을 이용한 플라즈마 모니터링, 반도체/OLED 증착소재 및 장비부품 코팅소재 평가방법 등이다.

윤주영 표준연 진공기술센터장은 “앞으로 행사를 지속적으로 개최해 국내 반도체 기술 향상 및 장비 국산화를 이루는데 노력할 것”이라고 말했다.

최소망 기자 somangchoi@

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