경제/과학
이코노미 줌 In

[이코노미 줌in] 5단 수직적층 반도체 트랜지스터 개발

KAIST 이병현·강민호 연구원

승인 2015-11-23 18:06
신문게재 2015-11-24 6면

최소망 기자

KAIST(총장 강성모)는 이병현 전기및전자공학부 연구원과 강민호 나노종합기술원 박사가 '실리콘 기반의 5단 수직 적층 반도체 트랜지스터'를 공동개발했다고 23일 밝혔다.

연구팀은 반도체 트랜지스터의 나노선 면적 감소에 따른 성능 저하 문제를 해결하기 위해 수직으로 5단의 '전면-게이트 실리콘 나노선'을 쌓아 기존 대비 5배의 향상된 결과를 얻어냈다.

수직 적층 나노선 구조는 수직으로 반도체를 쌓아 단일 구조와 달리 면적에 변화가 없어 집적도를 향상시켰다.

나노선 수직 적층은 '일괄 플라즈마 건식 식각 공정' 방식을 통해 이뤄졌다. 이는 고분자 중합체를 이용해 패턴이 형성될 영역에 미리 보호막을 치고 등방성 건식 식각을 통해 나노선 구조를 형성하는 기술로, 이 기술이 연속으로 작용하면서 수직 적층 나노선 구조를 확보할 수 있었던 것.

이병현 연구원은“이번 기술 개발은 나노종합기술원의 훌륭한 반도체 연구 기반과 김진수 부장을 포함해 관련 연구진들의 우수한 공정 능력이 뒷받침돼 가능했다”고 말했다.

최소망 기자

기자의 다른기사 보기

랭킹뉴스

헤드라인 뉴스

결혼비용 공개해도 추가금 여전… 공공 스드메가 해법일까

#. 지난 8월 결혼식을 올린 30대 박모 씨에게 예식 준비는 선택보다 확인의 연속이었다. 대전과 경기지역 예식장을 비교했지만 정작 가장 중요한 가격은 쉽게 알 수 없었다. 비용을 확인하려면 상담 예약을 잡고 직접 찾아가야 했고, 제휴 스튜디오·드레스·메이크업(스드메) 상품도 세부 조건을 따져볼수록 예상 금액이 늘어났다. 그렇다고 공공예식장으로 눈을 돌릴 생각은 없었다. 박 씨는 "평생 한 번뿐인 결혼식을 원하는 방식으로 치르고 싶은 마음도 존중받아야 하지 않느냐"며 "가격을 투명하게 알려주는 게 먼저지, 저렴한 곳을 찾아가라는 게..

#취업준비 #평균지출 #구직청년

취업 준비에만 月 58만 원… 구직청년 10명 중 7명 "비용부담"

구직 청년들이 취업 준비에 매달 평균 58만 원을 지출하는 것으로 나타났다. 이는 주거비를 제외한 금액으로, 청년 10명 중 7명이 취업 준비 비용에 부담을 느끼고 있었다. 한국경제인협회는 19일 이 같은 내용의 '구직 청년 취업 준비비용 조사' 결과를 발표했다. 이번 조사에서 응답자들이 최근 3개월간 취업 준비에 쓴 월평균 비용은 약 58만 원으로 집계됐다. 자격증·어학시험 응시료와 학원·온라인 강의 수강료, 교재비, 면접 준비비, 교통비 등이 포함된 금액이다. 부모나 가족이 대신 지불한 비용도 포함됐으며 주거비는 제외됐다. 취업..

#충남경찰 #불법도박사이트

충남경찰, '23조 원 규모' 불법 도박사이트 개설 조직 일망타진…77명 검거

충남경찰청이 베트남과 캄보디아 등 동남아 일대에 거점을 두고 23조 원이라는 천문학적인 금액이 오가는 도박공간을 개설·유통한 최상위 범죄조직을 일망타진했다. 경찰은 이번 수사를 통해 이들이 개설·분양한 하부 도박사이트들의 운영을 즉각 중단시키고, 국외로 도피한 피의자들에 대해서도 국제 공조를 통한 추가 검거에 나설 방침이다. 경찰은 19일 충남청 프레스센터에서 언론브리핑을 열고 2023년 3월부터 올해 7월까지 도박사이트 188개를 제작·분양한 최상위 조직 25명과 도박사이트 운영 조직 33명, 도박자 19명 등 77명을 검거했다고..