경제/과학
이코노미 줌 In

[이코노미 줌in] 5단 수직적층 반도체 트랜지스터 개발

KAIST 이병현·강민호 연구원

승인 2015-11-23 18:06
신문게재 2015-11-24 6면

최소망 기자

KAIST(총장 강성모)는 이병현 전기및전자공학부 연구원과 강민호 나노종합기술원 박사가 '실리콘 기반의 5단 수직 적층 반도체 트랜지스터'를 공동개발했다고 23일 밝혔다.

연구팀은 반도체 트랜지스터의 나노선 면적 감소에 따른 성능 저하 문제를 해결하기 위해 수직으로 5단의 '전면-게이트 실리콘 나노선'을 쌓아 기존 대비 5배의 향상된 결과를 얻어냈다.

수직 적층 나노선 구조는 수직으로 반도체를 쌓아 단일 구조와 달리 면적에 변화가 없어 집적도를 향상시켰다.

나노선 수직 적층은 '일괄 플라즈마 건식 식각 공정' 방식을 통해 이뤄졌다. 이는 고분자 중합체를 이용해 패턴이 형성될 영역에 미리 보호막을 치고 등방성 건식 식각을 통해 나노선 구조를 형성하는 기술로, 이 기술이 연속으로 작용하면서 수직 적층 나노선 구조를 확보할 수 있었던 것.

이병현 연구원은“이번 기술 개발은 나노종합기술원의 훌륭한 반도체 연구 기반과 김진수 부장을 포함해 관련 연구진들의 우수한 공정 능력이 뒷받침돼 가능했다”고 말했다.

최소망 기자

기자의 다른기사 보기

랭킹뉴스

헤드라인 뉴스

정부 양자클러스터 공모 본격… 대전, 연구집적 경쟁력 통할까

대전시가 정부의 국가 양자클러스터 공모에 뛰어들 채비를 마치면서, 국내 최대 연구개발 집적지가 실제 산업 거점으로 이어질 수 있을지 시험대에 오르고 있다. 정부가 국가 전략기술로 꼽히는 양자산업 육성에 본격 시동을 걸자 대전도 KAIST와 정부출연연구기관을 중심으로 구축한 연구 인프라를 앞세워 유치전에 가세했다. 23일 과학기술정보통신부에 따르면 정부는 내달 18일까지 국가 양자클러스터 지정 공모 신청을 받는다. 양자컴퓨팅·양자통신·양자센싱 등을 중심으로 지역 거점을 조성하는 사업이다. 정부는 기술 변화 속도와 산업 불확실성을 고려..

#세종시 #행정수도특별법

"지선 전 통과 불발" 세종 행정수도특별법, 앞으로 향방은

6월 지방선거 전 통과가 사실상 불발된 세종 행정수도특별법(이하 행정수도법)의 향방에 이목이 집중되고 있다. 앞서 '조속한 처리'를 내세웠던 여·야 지도부의 약속이 큰 실망감으로 돌아온 만큼, 앞으로의 처리 절차에 지역사회 여론이 더욱 집중되고 있는 모양새다. 23일 국회에 따르면 전날 국토교통위원회 법안심사소위원회는 행정수도 완성을 골자로 발의된 특별법 5건(황운하·강준현·김종민·김태년·엄태영·복기왕 등 대표 발의, 발의순)의 첫 논의를 시작했지만 심사를 보류한 뒤 공청회를 열기로 했다. 위헌 소지와 국민적 공감대 등을 두고 보완..

공청회에 막힌 행정수도법... 정치권은 '네탓 공방'

#신생핫플 #도마1동

대전 '도마1동 행정복지센터', 신생 핫플레이 상권으로 '주목'

대전지역 곳곳에서 신생 상권이 새롭게 형성되고 있다. 평소 주목받지 못했던 지역에 아파트가 들어서면서 슈퍼마켓을 비롯해 채소·과일, 정육점 등이 잇따라 문을 열고 있어서다. 기존 상권과 달리 신규 창업 점포가 눈에 띄게 눈에 띄게 확장되자 창업을 고민하는 이들에게 또 하나의 블루오션으로 주목받는다. 22일 소상공인 365 빅데이터가 추려낸 대전 신생 핫플레이스는 대전 서구 도마동에 위치한 '도마1동 행정복지센터' 인근이다. 신생 핫플레이스란, 상권이 형성된 지 얼마 되지 않은 장소로 최근 들어 급부상하는 곳을 뜻한다. 8만 8800..